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真空等离子清洗机属于电子工业的干法清洗，在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

常压等离子清洗机，通过压缩空气经过上下两组电极电离构成等离子体，由喷发出来的等离子体对材料外表进行处理，进而对产品表面进行快速有效的清洗。